杠杆配资公司网站云在上半导体等申请一种聚焦环、等离子刻蚀设备及聚焦环使用方法专利，增加聚焦环使用寿命

金融界2025年7月9日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市云在上半导体材料有限公司、湖南湘芯新材料有限公司申请一项名为“聚焦环、等离子刻蚀设备及聚焦环使用方法”的专利，公开号CN120280327A杠杆配资公司网站，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，一种聚焦环、等离子刻蚀设备及聚焦环使用方法，属于半导体制造技术领域。聚焦环包括上部环和两个或两个以上的下部环；所述上部环和所述下部环为分离设置，且所述下部环设置于所述上部环的下方并能够支撑所述上部环；多个所述下部环的高度不相同，以在更换下部环后能够调节所述上部环的高度。本发明聚焦环将原有的下部环更换为具有更高的高度的下部环后，可以将上部环的高度升高，这样可以抵消上部环的上表面变薄造成的影响，使得上部环的上表面与未刻蚀之前的原有上表面可以保持基本持平，从而使聚焦环能够保证刻蚀过程中的晶圆边缘刻蚀均匀度，增加了聚焦环的使用寿命。

天眼查资料显示，深圳市云在上半导体材料有限公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市云在上半导体材料有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息1条，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可2个。

湖南湘芯新材料有限公司，成立于2024年，位于娄底市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本9800万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南湘芯新材料有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员

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